| 主权项 |
1.一种玻璃板之清扫方法,其特征为:设定对回转轴配设成辐射状的多数片刮板的刀刃与半导体装置基板用的玻璃板表面所夹的角度为20度至50度,在使该刮板的刀刃接触于该玻璃板表面的状态下,在延伸于与该玻璃板表面大致直交的方向之该回转轴的周围使该刮板回转,且该刮板的刀刃的长轴方向中央部或该回转轴在常时位于该玻璃板表面上的状态下,藉由扫瞄该刮板于所定方向,并以该刮板将付着于该玻璃板表面的异物除去。2.一种玻璃板之清扫装置,其特征包含:支持玻璃板的支持手段;刮板,具有可与被该支持手段支持的玻璃板表面接触的刀刃;回转手段,在延伸于与被该支持手段支持的玻璃板表面大致直交的方向之回转轴周围使该刮板回转;以及扫瞄手段,在该刀刃接触于玻璃板表面的状态下,对该玻璃板表面沿着预定的路径扫描该回转的刮板。3.一种玻璃板之清扫装置,其特征包含:支持玻璃板的支持手段;刮板组,延伸于与被该支持手段支持的玻璃板表面大致直交的方向之驱动轴,与由该驱动轴延伸成辐射状并且具有可与该各支持手段所支持的玻璃板表面接触之刀刃的多数片刮板;回转手段,在该驱动轴周围使该刮板组回转;以及扫瞄手段,在该各刮板的刀刃接触于玻璃板表面的状态下,对该玻璃板表面沿着预定的路径扫描该回转的刮板组,该刮板组具有:由该驱动轴延伸成辐射状的多数个支持臂,与配设于各支持臂并且拆卸安装自如地保持该刮板的支撑物,该各支撑物系沿着与该驱动轴大致平行的方向移动自如,且在与被该支持手段支持的该玻璃板表面大致平行的轴之周围回转自如地安装于该支持臂,该刮板组具有:安装于该驱动轴并且沿着圆周方向相互分离等间隔而配置的多数个刮板组合,各刮板组合具有:基台,由该驱动轴延伸成辐射状;昇降块,沿着与该驱动轴大致平行的方向移动自如地安装于该基台;回动板,在与被该支持手段支持的该玻璃板表面大致平行的轴的周围回转自如地安装于该昇降块;以及支撑物,与保持该刮板并且安装于该回动板,该支持手段具有:承载玻璃板并且与被承载的玻璃板表面平行,且沿着互相直交的两方向移动自如的平台;以及使该平台移动于该两方向的驱动机构,该支持手段构成该扫瞄手段,该支持手段更具有:于该平台表面开口的多数吸引孔;以及通过该吸引孔将该玻璃板吸附于该平台上之吸引手段,该刮板系使该玻璃板表面与刮板所夹的角度为20度至50度而倾斜配置,该刮板的回转速度系设定于50-200rpm的范围内。4.如申请专利范围第3项之玻璃板之清扫装置,其中该回转手段具有连结于该插板组之驱动轴,使刮板组回转的马达,在该各刮板的刀刃接触于被该支持手段支持的该玻璃板表面的位置与自该玻璃板表面分离的位置之间,配设使该刮板组以及马达升降的升降机构。图式简单说明:第1图系本发明的实施形态所示的玻璃板之清扫装置的立体图。第2图系前述之清扫装置的刮板组所示之立体图。第3图系前述之刮板组及玻璃板所示的平面图。第4图系前述之清扫装置的控制系统所示的概略方块图。第5图系本发明的其他实施形态所示的刮板组之立体图第6图系前述之刮板组所示的刮板组合的侧面图。第7图系前述之刮板组合所示的正面图。 |
