发明名称 湿式净洗机
摘要 本发明揭露了一种可自有害的气体流出物(Harmful Gaseous Effluent)中高效率且安全地移除可溶性物质的净洗机( Scrubber)。利用两次净洗液(Scrubbing Liquid)与有害的气体 流出物的混合,此净洗机能满足环保标准。此净洗机 并且能避免会发生在传统净洗机的工厂安全问题。也 由于净洗液与有害的气体流出物的高效率混合,当净 洗液停止供应时生产设施或制程设备无须停止运作。
申请公布号 TW489361 申请公布日期 2002.06.01
申请号 TW090111107 申请日期 2001.05.10
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 庄顺程;庄顺嘉
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈达仁 台北巿南京东路二段一一一号八楼之三;谢德铭 台北巿南京东路二段一一一号八楼之三
主权项 1.一种净洗气体流出物的净洗机,该净洗机至少包含:一净洗室,该净洗室至少包含:一过滤区,该过滤区至少包含:一多孔分流装置;一多孔过滤装置,该多孔过滤装置系位于该多孔分流装置之下;及复数个过滤体装置,该过滤体装置系塞入该多孔分流装置与该多孔过滤装置之间;至少两个具有复数个开孔之多孔装置,该多孔装置系位于该过滤区之下;一净洗液供应管连接该净洗室之顶部以自一净洗液供应源输送一净洗液进入该净洗室;一第一气体导管,该第一气体导管连接该净洗室之顶部于该第一气体导管之一第一端,以将该气体流出物自该净洗室输送至一主排气导管;一手动阀,该手动阀连接该第一气体导管之一第二端;一第二气体导管,该第二气体导管连接该手动阀于该第二气体导管之一第一端;一第一帮浦,该第一帮浦连接该第二气体导管之一第二端,以将该气体流出物自复数个生产设备抽至该第二气体导管;一逆止阀,该逆止阀连接该第二气体导管之一第三端;一第三气体导管,该第三气体导管连接该逆止阀于该第三气体导管之一第一端,该第三气体导管亦连接该净洗室之底部于该第三气体导管之一第二端,以将该气体流出物输入该净洗室,其中仅有自该第二气体导管流至该第三气体导管之流出物能通过该逆止阀;一再循环管,该再循环管连接该净洗室之底部于该再循环管之一第一端与该净洗室之顶部于该再循环管之一第二端,以再循环该净洗液;一第二帮浦,该第二帮浦装置于该再循环管之管线路径中,以抽取该净洗液自该净洗室之底部至该过滤区;及一净洗液排放管连接该净洗室于一高于该多孔装置之高度,以排放多余之该净洗液。2.如申请专利范围第1项所述之净洗机,其中上述之该多孔分流装置至少包含一可旋转之多孔分流板。3.如申请专利范围第1项所述之净洗机,其中上述之该过滤体装置至少包含一由多个塑胶同心圆形环所构成之球体。4.如申请专利范围第1项所述之净洗机,其中上述之该多孔装置系以开孔尺寸大小为顺序装置于该净洗室内,使得具有最小开孔尺寸的该多孔装置位于最高处。5.如申请专利范围第1项所述之净洗机,其中上述之该多孔装置至少包含一抗酸多孔板。6.如申请专利范围第1项所述之净洗机,其中上述之该第一帮浦至少包含一乾式帮浦。7.如申请专利范围第1项所述之净洗机,其中上述之该净洗液至少包含自来水。8.一种净洗气体流出物的净洗机,该净洗机至少包含:一净洗室,该净洗室至少包含:一过滤区,该过滤区至少包含:一多孔分流装置;一多孔过滤装置,该多孔过滤装置系位于该多孔分流装置之下;及复数个过滤体装置,该过滤体装置系塞入该多孔分流装置与该多孔过滤装置之间;至少两个具有复数个开孔之多孔装置,该多孔装置系位于该过滤区之下;一净洗液供应管连接该净洗室之顶部以自一自来水供应源输送一自来水进入该净洗室;一第一气体导管,该第一气体导管连接该净洗室之顶部于该第一气体导管之一第一端,以将该气体流出物自该净洗室输送至一主排气导管;一手动阀,该手动阀连接该第一气体导管之一第二端;一第二气体导管,该第二气体导管连接该手动阀于该第二气体导管之一第一端;一第一帮浦,该第一帮浦连接该第二气体导管之一第二端,以将该气体流出物自复数个生产设备抽至该第二气体导管;一逆止阀,该逆止阀连接该第二气体导管之一第三端;一第三气体导管,该第三气体导管具有一纯净导管用以输入一纯净用气体,该第三气体导管连接该逆止阀于该第三气体导管之一第一端,该第三气体导管亦连接该净洗室之底部于该第三气体导管之一第二端,以将该气体流出物输入该净洗室,其中仅有自该第二气体导管流至该第三气体导管之流出物能通过该逆止阀;一再循环管,该再循环管连接该净洗室之底部于该再循环管之一第一端与该净洗室之顶部于该再循环管之一第二端,以再循环该自来水;一第二帮浦,该第二帮浦装置于该再循环管之管线路径中,以抽取该自来水自该净洗室之底部至该过滤区;及一净洗液排放管连接该净洗室于一高于该多孔装置之高度,以排放多余之该自来水。9.如申请专利范围第8项所述之净洗机,其中上述之该多孔分流装置至少包含一可旋转之多孔分流板。10.如申请专利范围第8项所述之净洗机,其中上述之该过滤体装置至少包含一由多个塑胶同心圆形环所构成之球体。11.如申请专利范围第8项所述之净洗机,其中上述之该多孔装置系以开孔尺寸大小为顺序装置于该净洗室内,使得具有最小开孔尺寸的该多孔装置位于最高处。12.如申请专利范围第8项所述之净洗机,其中上述之该多孔装置至少包含一抗酸多孔板。13.如申请库利范围第9项所述之净洗机,其中上述之该第一帮浦至少包含一乾式帮浦。14.如申请专利范围第9项所述之净洗机,其中上述之该纯净用气体至少包含氮气。15.一种净洗气体流出物的净洗机,该净洗机至少包含:一净洗室,该汽洗室至少包含:一过滤区,该过滤区至少包含:一多孔分流装置;一多孔过滤装置,该多孔过滤装置系位于该多孔分流装置之下;及复数个过滤体装置,该过滤体装置系塞入该多孔分流装置与该多孔过滤装置之间;至少两个具有复数个开孔之多孔装置,该多孔装置系位于该过滤区之下且该多孔装置系以开孔尺寸大小为顺序装置于该净洗室内,使得具有最小开孔尺寸的该多孔装置位于最高处;一净洗液供应管连接该净洗室之顶部以自一自来水供应源输送一自来水进入该净洗室;一第一气体导管,该第一气体导管连接该净洗室之顶部于该第一气体导管之一第一端,以将该气体流出物自该净洗室输送至一主排气导管;一手动阀,该手动阀连接该第一气体导管之一第二端;一第二气体导管,该第二气体导管连接该手动阀于该第二气体导管之一第一端;一第一帮浦,该第一帮浦连接该第二气体导管之一第二端,以将该气体流出物自复数个生产设备抽至该第二气体导管;一逆止阀,该逆止阀连接该第二气体导管之一第三端;一第三气体导管,该第三气体导管具有一纯净导管用以输入一纯净用气体,该第三气体导管连接该逆止阀于该第三气体导管之一第一端,该第三气体导管亦连接该净洗室之底部于该第三气体导管之一第二端,以将该气体流出物输入该净洗室,其中仅有自该第二气体导管流至该第三气体导管之流出物能通过该逆止阀;一再循环管,该再循环管连接该净洗室之底部于该再循环有之一第一端与该净洗室之顶部于该再循环管之一第二端,以再循环该自来水;一第二帮浦,该第二帮浦装置于该再循环管之管线路径中,以抽取该自来水自该净洗室之底部至该过滤区;及一净洗液排放管连接该净洗室于一高于该多孔装置之高度,以排放多余之该自来水。16.如申请专利范围第15项所述之净洗机,其中上述之该多孔分流装置至少包含一可旋转之多孔分流板。17.如申请专利范围第15项所述之净洗机,其中上述之该过滤体装置至少包含一由多个塑胶同心圆形环所构成之球体。18.如申请专利范围第15项所述之净洗机,其中上述之该多孔装置至少包含一抗酸多孔板。19.如申请专利范围第15项所述之净洗机,其中上述之该第一帮浦至少包含一乾式帮浦。20.如申请专利范围第15项所述之净洗机,其中上述之该纯净用气体至少包含氮气。图式简单说明:第一A图显示一传统之净洗机;第一B图显示一过滤体;第二A图显示本发明之净洗机;第二B图显示第二A图中之上多孔板的开孔;及第二C图显示第二A图中之下多孔板的开孔。
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