| 主权项 |
1.一种搬送装置,其特征为具备: 可分别转动地设在同轴上之第1及第2上臂; 配置于同轴上,与马达之输出轴直接结合,分别驱 动前述第1及第2上臂之第1及第2驱动轴; 其端部可转动地安装于前述第1上臂之前端部之第 1前臂; 基端部可转动地安装于前述第2上臂之前端部之第 2前臂; 连接于前述第1及第2前臂之前端部之前臂连接部; 安装于该前臂连接部之搬送物把持部; 将前述第1驱动轴之动力传输至前述第2前臂之第1 传输装置; 将前述第2驱动轴之动力传输于前述第1前臂之第2 传输装置,而在第1上臂靠第1驱动轴之驱动而转动 时,使第2前臂和第1前臂与之连动而分别朝同方向 及反方向转动,在第2上臂靠第2驱动轴之驱动而转 动时,使第1前臂及第2前臂与之连动而分别朝同方 向及反方向转动,以藉由该等支臂的转动移动前述 搬送物把持部。2.如申请专利范围第1项之搬送装 置,其中前述第1及第2传输装置以1:1之传输比传输 动力,而在第1上臂转动时,使第2前臂在同方向转动 与第2上臂之转动角度相同之转动角度,使第1前臂 在反方向转动与第1上臂之转动角度相同之转动角 度,在第2上臂转动时,使第1前臂在同方向转动与第 2上臂之转动角度相同之转动角度,使第2前臂在反 方向转动与第2上臂之转动角度相同之转动角度。 3.如申请专利范围第1项之搬送装置,其中前述第1 及第2传输装置,被装设于较前臂之基端部接近驱 动轴的一侧,而在前臂之转动中心与上臂之转动中 心之间传输动力。4.如申请专利范围第1项之搬送 装置,其中前述第1及第2上臂,可从与第1及第2前臂 重叠之状态朝顺时钟方向与反时钟方向双方转动, 而可藉由此上臂之转动使前述搬送物把持部从位 于比第1及第2驱动轴更偏向一侧之位置穿过第1及 第2驱动轴之位置移动至相反侧。5.如申请专利范 围第1项之搬送装置,其中2个前述搬送物把持部安 装于前臂连接部,这些搬送物把持部系配置成分别 朝不同之搬送方向。6.如申请专利范围第1项之搬 送装置,其中前述第1上臂,第2上臂,第1前臂及第2前 臂,被重叠配置,不互相干涉转动移动时之移动领 域。图式简单说明: 第1图系搬送装置之习用例之结构图。 第2图系搬送装置之习用例之结构图。 第3图系搬送装置之习用例之结构图。 第4图系表示本发明一实施例之结构图。 第5图系从上面看第1图搬送装置之平面图。 第6图系表示第1图及第2图中搬送装置之动力传输 机构之构成例之图。 第7图系表示第1图及第2图中搬送装置之动力传输 机构之构成例之图。 第8图系表示第1图及第2图中搬送装置之动力传输 机构之构成例之图。 第9图系表示第1图及第2图中搬送装置之动力传输 机构之构成例之图。 第10A图至第10C图系第1及第2图之搬送装置之动作 说明图。 第11A图至第11C图系第1及第2图之搬送装置之动作 说明图。 第12图系第1图及第2图之搬送装置之动作说明图。 第13A及第13B图系表示前臂连接部之构成例之图。 第14图系第1图及第2图之搬送装置之动作说明图。 第15图系第1图及第2图之搬送装置之动作说明图。 第16图系第1图及第2图之搬送装置之动作说明图。 第17(A)图至第17(L)图系表示实施晶圆搬送时之搬送 顺序之一例之图。 第18图系表示本发明其他实施例之结构图。 |
