发明名称 SURFACE STRUCTURE AND METHOD OF MAKING, AND ELECTROSTATIC WAFER CLAMP INCORPORATING SURFACE STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR20020041448(A) 申请公布日期 2002.06.01
申请号 KR1020027004166 申请日期 2002.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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