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经营范围
发明名称
SURFACE STRUCTURE AND METHOD OF MAKING, AND ELECTROSTATIC WAFER CLAMP INCORPORATING SURFACE STRUCTURE
摘要
申请公布号
KR20020041448(A)
申请公布日期
2002.06.01
申请号
KR1020027004166
申请日期
2002.03.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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