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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING AIR OVER A SPINNING MICROELECTRONIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20020041418(A) 申请公布日期 2002.06.01
申请号 KR1020027002606 申请日期 2002.02.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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