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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CARRYING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20020041416(A) 申请公布日期 2002.06.01
申请号 KR1020027002519 申请日期 2002.02.26
申请人 发明人
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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