| 发明名称 |
A method for the formation of an indium oxide film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU747912(B2) |
申请公布日期 |
2002.05.30 |
| 申请号 |
AU20000071646 |
申请日期 |
2000.11.16 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KOZO ARAO;KATSUMI NAKAGAWA;YUKIKO IWASAKI |
| 分类号 |
C23C18/12;C23C18/16;C25D9/06;H01L31/00;H01L31/0392;H01L31/18;(IPC1-7):C25D9/06;H01L31/039 |
主分类号 |
C23C18/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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