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发明名称 TUNGSTEN TARGET FOR SPUTTERING AND METHOD FOR PREPARING THEREOF
摘要
申请公布号 KR20020040814(A) 申请公布日期 2002.05.30
申请号 KR1020027003766 申请日期 2002.03.22
申请人 发明人
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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