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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DEPOSITING MATERIALS WITH A LARGE ELECTRONIC ENERGY GAP AND HIGH BINDING ENERGY
摘要
申请公布号 KR20020040770(A) 申请公布日期 2002.05.30
申请号 KR1020027001795 申请日期 2002.02.08
申请人 发明人
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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