| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif comportant une ou plusieurs couches déposées, lequel dispositif est soumis à un recuit à haute température après dépôt. Des films opposés possédant les mêmes propriétés mécaniques sont déposés sur les faces avant et arrière d'une tranche, celle-ci étant ensuite soumise à un recuit à haute température. Les films opposés ont tendance à empêcher le gauchissement de la tranche provoqué par les contraintes au cours du recuit ultérieur.</p> |
