| 发明名称 |
Table |
| 摘要 |
Structure for disposing a material to be treated at an acute angle relative to the axis of rotation so as to permit the substrate to rotate relative to said structure.
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| 申请公布号 |
US2002062791(A1) |
申请公布日期 |
2002.05.30 |
| 申请号 |
US20010973846 |
申请日期 |
2001.10.11 |
| 申请人 |
GINOVKER ANDREY;DRUKER LEONID;MOLENDA DAREK;WARZYSZYNSKI MARIUSZ |
发明人 |
GINOVKER ANDREY;DRUKER LEONID;MOLENDA DAREK;WARZYSZYNSKI MARIUSZ |
| 分类号 |
C23C14/50;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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