发明名称 Mikrobearbeiteter symmetrischer Differentialdrucksensor mit Polysilizium
摘要
申请公布号 DE69612576(T2) 申请公布日期 2002.05.29
申请号 DE19966012576T 申请日期 1996.02.14
申请人 VAISALA OYJ, HELSINKI 发明人 RYHANEN, TAPANI
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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