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发明名称
Mikrobearbeiteter symmetrischer Differentialdrucksensor mit Polysilizium
摘要
申请公布号
DE69612576(T2)
申请公布日期
2002.05.29
申请号
DE19966012576T
申请日期
1996.02.14
申请人
VAISALA OYJ, HELSINKI
发明人
RYHANEN, TAPANI
分类号
G01L9/12;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00
主分类号
G01L9/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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