| 发明名称 |
HOCHTEMPERATUR-DIFFUSIONSOFEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69025955(T3) |
申请公布日期 |
2002.05.29 |
| 申请号 |
DE19906025955T |
申请日期 |
1990.12.20 |
| 申请人 |
THERMTEC, INC. |
发明人 |
MCENTIRE, WILLIAM;ERICKSON, RONALD |
| 分类号 |
F27B14/06;F27B14/08;F27D1/00;F27D11/02;H01L21/22;H01L21/324;H05B3/06;H05B3/64;H05B3/66;(IPC1-7):F27D11/02 |
主分类号 |
F27B14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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