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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING THE TEMPERATURE OF A REFLECTIVE SUBSTRATE DURING RAPID HEATING
摘要
申请公布号 EP1208585(A1) 申请公布日期 2002.05.29
申请号 EP20000953392 申请日期 2000.08.30
申请人 STEAG RTP SYSTEMS, INC. 发明人 TAY, SING, PIN;HU, YAO, ZHI;THAKUR, RANDHIR;GAT, ARNON
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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