Method and device for scanning microscopic objects with a scanning system

摘要

Die gegenwärtige Erfindung offenbart ein Verfahren und eine Anordnung zur Abtastung mikroskopischer Objekte (15) mit einer Scaneinrichtung. Auf einem Probentisch (35) ist das mikroskopische Objekt (15) in mindestens zwei Raumrichtungen verschiebbar. Ein Lichtstrahl (3) rastert über ein Scanmodul (7) das Objekt (15) innerhalb eines definierten Scanfeldes (52) ab und das von Objekt ausgehende Licht (17) wird detektiert. Ferner ist zur Auswertung und Berechnung ein PC (34) vorgesehen. Das Scanfeld (52) ist derart festgelegt, dass es einen zu untersuchenden Objektbereich unvollständig umschließt. Es sind Mittel (23, 31) vorgesehen, die den Probentisch (35) derart verfahren, dass durch die Vielzahl der entstehenden Scanfelder (521, 522 ... 52n) der gesamte interessierende Objektbereich überdeckbar ist. Die au den zu untersuchenden Objektbereich detektierten Daten der einzelnen Scanfelder (521, 522 ... 52n) werden im PC (34) zu einem Gesamtbild zusammensetzt. <IMAGE>