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Ein erfindungsgemäßes Ziel ist die Bereitstellung einer Halbton-Phasenverschiebungsmaskenvorform und einer Halbton-Phasenverschiebungsmaske, deren transluzenter Film eine verbesserte Säurebeständigkeit, Alkalibeständigkeit und Beständigkeit gegenüber Excimer-Laserbestrahlung aufweist, wobei die innere Spannung des Filmes innerhalb eines annehmbaren Bereiches für die beabsichtigte Verwendung bleibt. DOLLAR A Um das zuvor erwähnte Ziel zu erreichen, stellt die Erfindung eine Halbton-Phasenverschiebungsmaskenvorform bereit, die ein transparentes Substrat mit einem hierauf bereitgestellten transluzenten Film, umfassend mindestens eine dünne Schicht, enthaltend Silicium und mindestens einen Vertreter von Stickstoff und Sauerstoff, umfaßt und die mit Licht zu bestrahlen ist, dessen mittlere Wellenlänge 248 nm oder kürzer beträgt, wobei der transluzente Film so dicht ist, daß er eine mittlere Oberflächenrauhigkeit (Ra) von 0,3 nm oder weniger aufweist. |
