Verbessertes Diaphragma für eine chemische mechanische Poliervorrichtung

摘要

Ein verbessertes Diaphragma für eine chemische mechanische Poliervorrichtung kann die Festigkeit des Diaphragmas erhöhen und die auftretende Beanspruchung verringern, wobei das Diaphragma aus einer Kautschukschicht und einer Faserschicht zusammengesetzt ist. Die Größe und Form des Diaphragmas sind entsprechend einem Spalt und einer Relativverschiebung zwischen der Dreheinheit und dem Halter ausgelegt, um eine Faltenbildung des Diaphragmas zu verhindern und um eine Reibung mit einer Seitenwand der Dreheinheit und des Halters zu verringern. Dadurch kann die Lebensdauer des Diaphragmas gesteigert und die Wartungshäufigkeit der Poliervorrichtung verringert sowie die Produktausbeute gesteigert werden.