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发明名称
Herstellverfahren für eine als Intermetalldielektrikum fungierende Isolatorschicht
摘要
申请公布号
DE19631743(C2)
申请公布日期
2002.05.29
申请号
DE19961031743
申请日期
1996.08.06
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
GABRIC, ZVONIMIR;SPINDLER, OSWALD;GRASL, THOMAS
分类号
H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
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