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<p>Ein Verfahren dient zur dynamischen Manipulation und/oder zur Justage der Position einer Baugruppe 2 oder eines Bauelements in einem optischen System 1, insbesondere in einem Objektiv für die Halbleiter-Lithographie. Die Baugruppe 2 oder das Bauelement wird durch wenigstens zwei Aktuatoren 3, 4, die Detektoren 5 zur Ermittlung zumindest ihrer relativen Wegbewegungen s aufweisen, bewegt. Die Position der Baugruppe 2 oder des Bauelements wird mit wenigstens zwei Sensoren 14, 15 ermittelt, wobei die Sensoren 14, 15 und die Aktuatoren 3, 4 mit ihren Detektoren 5 in der Art eines Regelkreises miteinander kommunizieren. Durch die Aktuatoren 3, 4 wird wenigstens ein Impuls auf die Baugruppe 2 oder das Bauelement ausgeübt. Der Impuls ist zeitlich gezielt veränderlich, wozu die Bewegung der Aktuatoren 3, 4 mit einem abhängig von der ermittelten Position Sn<ist> der Baugruppe 2 oder des Bauelements vorgegebenen zeitlich veränderlichen Geschwindigkeitsprofil 19 bzw. 20,24 erfolgt. Nach Durchfahren des Geschwidigkeitsprofils 19 bzw. 20,24 wird die Position sn<ist> der Baugruppe 2 oder des Bauelements erneut ermittelt. Die oben genannten Verfahrensschritte werden so lange wiederholt, bis die gewünschte Position ssoll der Baugruppe 2 oder des Bauelements erreicht ist. <IMAGE></p> |
