采用固态紫外高斯激光束成孔的波束成形和投射成像

摘要

采用激光系统(50)中的一种二极管注入泵式固态激光器(52)来提供紫外波的高斯输出(54),该输出经一光学衍射组件(90)转换成照度轮廓一致的成形输出(94)。高比例的成形输出(94)经聚焦穿过掩膜(98)的孔眼以提供成像成形输出(118)。该激光系统(50)有助于将该方法的打孔能力提高到比类似的剪切高斯激光系统的打孔能力还高的水平。本发明特别适于打取盲孔(20b),并且该盲孔的孔边、孔底以及锥度的质量高于剪切高斯激光系统打取的盲孔。另一种激光系统(150)采用一对波束转向检流镜(152、154)其可使高斯输出绕过包含光学衍射组件(90)和掩膜(98)的成形成像系统(70)。激光系统(150)为用户在高斯输出或成像成形输出(118)之间提供了一种选择。

主权项

1、一种用来提高在多层工件上打孔能力的方法，其中该多层工件至少包括分别由第一层材料和第二层材料构成的第一层和第二层，并且第一层材料和第二层材料分别具有不同的第一、第二烧蚀通量阈值，该方法包括：生成第一高斯激光输出，该第一高斯激光输出具有第一高斯能量和波长小于400nm的、基本上为高斯曲线的照度轮廓；使第一高斯激光输出沿着一条光路穿过一个光学衍射组件从而将第一高斯激光输出转换成更为均匀一致的第一成形输出；使该均匀的第一成形输出的主要部分穿过一个孔眼从而将均匀的第一成形输出转换成第一过孔成形输出，该第一过孔成形输出具有第一过孔成形能量，其能量值大于第一高斯激光输出的第一高斯能量的50％；将第一过孔成形输出穿过一个或多个成像透镜组件以提供第一成像成形输出；将第一成像成形输出加到工件的靶位上以去掉靶位内的第一层材料从而形成孔，该第一成像成形输出在一个第一点域上具有第一能量密度，并且该第一能量密度大于第一烧蚀通量阈值但小于第二烧蚀通量阈值。