碳化硅材质热处理用工具

摘要

本发明是对在表面形成具有一定功能的膜的玻璃材质板进行热处理时,用于承载该玻璃材质板的热处理用工具。该工具含有由SiC组成的相50重量%以上,其热传导率在10w/mk以上,表观气孔率为0.2－25%,热膨胀系数为3.8×10^－6/℃～5.5×10^－6/℃。由于它具有合适的热膨胀系数,从而能抑制由于工具自身长时间产生的翘曲,热处理中的摩擦所产生的玻璃材质板的变形;由于具有优良的热传导性能能够以比较短的时间高效率地进行玻璃材质板的均匀热处理。还改善了玻璃材质板由工具上装上卸下的操作性能。

主权项

1.一种SiC材质热处理用工具，是对在表面形成具有一定功能的膜的玻璃材质板进行热处理时，用于承载该玻璃材质板的热处理用工具，其特征在于，含有由SiC组成的相50重量％以上，其热传导率在10W/mk以上，表观气孔率为0.2-25％，热膨胀系数为3.8×10-6/℃-5.5×10-6 /℃。