Process and apparatus for producing a quartz glass article

摘要

Bei einem bekannten Verfahren für die Herstellung eines Quarzglaskörpers wird einem Abscheidebrenner (7) eine siliziumhaltige Ausgangsverbindung zugeführt, in einer dem Abscheidebrenner (7) zugeordneten Brennerflamme (6) daraus SiO2-Partikel gebildet, diese auf einer kuppenförmigen Ablagerungsfläche (9) eines um eine Mittelachse (3) rotierenden und mit geregelter Abzugsgeschwindigkeit in Richtung der Mittelachse (3) abgezogenen Trägers (2) abgeschieden und unter Bildung des Quarzglaskörpers (8) verglast, wobei der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner (7) und der Ablagerungsfläche (9) geregelt wird. Um hiervon ausgehend die Herstellung eines Quarzglaskörpers nach dem VAD-Prozess mit möglichst homogenen Materialeigenschaften ermöglichen wir erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die geometrische Form der Ablagerungsfläche (9) während des Abscheidens beibehalten wird. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung, mittels der derartige Quarzglaskörper reproduzierbar hergestellt werden können zeichnet sich dadurch aus, dass Mittel (11; 12; 17; 19) zur Beibehaltung der geometrischen Form der Ablagerungsfläche (9) während des Abscheidens vorgesehen sind.