发明名称 |
Schichtsystem aus einem nicht einkristallinen Substrat, einer Pufferschicht und einer supraleitenden Schicht |
摘要 |
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申请公布号 |
DE20120782(U1) |
申请公布日期 |
2002.05.29 |
申请号 |
DE20012020782U |
申请日期 |
2001.12.21 |
申请人 |
AXYNTEC DUENNSCHICHTTECHNIK GMBH |
发明人 |
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分类号 |
H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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