发明名称 Schichtsystem aus einem nicht einkristallinen Substrat, einer Pufferschicht und einer supraleitenden Schicht
摘要
申请公布号 DE20120782(U1) 申请公布日期 2002.05.29
申请号 DE20012020782U 申请日期 2001.12.21
申请人 AXYNTEC DUENNSCHICHTTECHNIK GMBH 发明人
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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