处理光刻薄膜显影中产生的漂洗废液的方法

摘要

本发明公开了处理光刻工艺中产生的漂洗废液的方法，它包括：向酸化后的回收漂洗液中通入空气使得生物物质中溶解的氧气量在加入处理液之前和之后维持在1.5至2.5ppm，通入空气的时间应能使生物耗氧量降低至少95％，活化生物物质的最小BOD为100ppm，最小的COD为200ppm，所述的生物物质在氧气存在的情况下使γ-丁内酯或苄醇代谢成为CO₂和H₂O并降低γ-丁内酯或苄醇的生物耗氧量。本发明方法显著降低了光刻工艺中产生的漂洗废液的生物耗氧量，满足了环保要求。#!

主权项

1.处理光刻薄膜显影中产生的漂洗废液的方法，显影时使用含有0.1％至10％重量添加剂的显影剂，添加剂选自甲醇、乙醇、异丙醇、丙二醇单甲基醚醋酸酯、乙二醇单甲基醚、甲酰胺、硝基甲烷、环氧丙烷、丁酮、丙酮和水，所述显影剂主要由γ-丁内酯或苄醇组成，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(a)在pH值8-10回收漂洗液；(b)调整漂洗液的温度至15-25℃；(c)将漂洗液酸化至pH值为7.5～8.5；(d)向酸化后的溶液中通入空气，使得生物物质中溶解的氧气量在加入处理液之前和之后维持在1.5至2.5ppm，通入空气的时间应能使生物耗氧量降低至少95％；(e)活化生物物质的最小BOD为100ppm，最小的COD为200ppm；(f)所述生物物质在氧气存在的情况下使γ-丁内酯或苄醇代谢成为CO2和H2O并降低γ-丁内酯或苄醇的生物耗氧量。