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<p>평판 디스플레이 소자의 고선명화를 위해 단결정 실리콘웨이퍼를 접합한 SOG 박판을 형성할 시 단결정 실리콘웨이퍼를 간단히 지지할 수 있도록 하는 SOG 박판을 제조하는 방법에 관한 것으로, 평판 투명 기판을 거울면 가공된 원형의 단결정 실리콘웨이퍼와 동일한 크기와 형상으로 절단하고, 원형 절단된 투명 기판의 절단면을 라운딩 형태 또는 상하측이 경사를 가진 형태가 되도록 연마한 후, 투명 기판을 세정하고, 세정된 투명 기판을 거울면 가공된 원형의 단결정 실리콘웨이퍼와 접합하여 SOG 박판을 제조한다. 따라서, SOG 박판용 투명 기판을 단결정 실리콘웨이퍼와 동일한 크기와 형상으로 제작함으로써 별도의 공정없이 거울면 연마된 단결정 실리콘웨이퍼를 접합하여 고선명 평판 디스플레이 소자 형성을 위한 SOG 박판을 형성할 수 있다.</p> |
