发明名称 Test Tray Elevating System of Horizontal Handler
摘要 <p>본 발명은 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치에 관한 것으로, 특히 수직으로 세워진 상태에서 챔버를 순환하는 테스트 트레이 승하강시 캠을 이용하여 동작을 원할하게 하여 파손을 방지하고, 연속적인 작업이 가능하도록 승하강시킬 수 있는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치에 관한 것이다. 상기 본 발명은 챔버와; 상기 챔버의 상부에 설치되어 테스트 트레이를 승하강 동작시키기 위한 구동 유니트와; 상기 구동 유니트에 의해 테스트 트레이를 상승시키기 위한 테스트 트레이 상승 유니트와; 상기 테스트 트레이 상승 유니트에 의해 상승된 테스트 트레이를 하강시키기 위한 테스트 트레이 하강 유니트로 구성되는 것을 특징으로 한다. 상기한 바와같이 본 발명에서는 테스트 트레이가 파손되지 않도록 안전하게 승하강시킬 수 있으며, 테스트 트레이의 승하강 동작이 빠르게 움직이므로 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.</p>
申请公布号 KR100338158(B1) 申请公布日期 2002.05.24
申请号 KR19990034681 申请日期 1999.08.20
申请人 null, null 发明人 김원
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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