| 发明名称 |
SUBSTRATE HEATING AIR LEVITATION TRANSFER EQUIPMENT AND SUBSTRATE TRANSFERRING METHOD USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2002151571(A) |
申请公布日期 |
2002.05.24 |
| 申请号 |
JP20000347508 |
申请日期 |
2000.11.15 |
| 申请人 |
FUJI PHOTO FILM CO LTD;HITACHI INDUSTRIES CO LTD |
发明人 |
NAGATE HIROSHI;SUEHARA KAZUYOSHI;KISHIMURA TOSHIHARU;HAYASHI TAKEHIKO;MATSUMOTO AKIRA |
| 分类号 |
B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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