Röntgenanalysegerät mit einem ortsempfindlichen Festkörperröntgendetektor

摘要

In einem ortsempfindlichen Festkörperdetektor (PSD; Position Sensitive Detector) kann jedes Detektorelement 44 eine geringe Ladungsausbeute pro Röntgenquent liefern; außerdem kann eine relativ hohe parasitäre Kapazität 104 zwischen der Abgreifelektrode 90 und dem Halbleiter 86, 88, 92, mit dem sie verbunden sind, vorliegen. Dies verursacht einen geringen Rauschabstand, der das Signal verschlechtert. Gemäß der Erfindung sind die analogen Ladungsverstärker 58 in integrierter Bipolartechnik ausgeführt und ihre Ausleseelektronik 48 in digitaler Technik, vorzugsweise in einem BICMOS-Prozess in CML-Technik (CML : Current Mode Logic). Außerdem kann die digitale Signalverarbeitungselektronik auf dem gleichen Substrat wie die Ladungsverstärker angebracht werden.