| 摘要 |
<p>본 발명은 오피씨드럼에 경도와 내마모성이 강한 디엘씨코팅막을 형성하여 오피씨드럼의 수명을 획기적으로 증대시키는 동시에 잔류전위를 낮추지 않고 광투과도를 거의 저하시키지 않음으로써 복사성능이 떨어지지 않는 오피씨드럼과 오피씨드럼의 디엘씨코팅장치 및 디엘씨코팅방법에 관한 것으로서, 본 발명의 오피씨드럼은, 복사기, 레이저 프린터, 팩시밀리 등의 전자복사기기에 적용되는 오피씨드럼(Organic PhotoConductor Drum)을 구성함에 있어, 상기 오피씨드럼의 표면에 디엘씨(Diamond-Like Carbon)코팅막이 형성된 것을 특징으로 하고, 본 발명의 오피씨드럼의 디엘씨코팅장치는, 디엘씨코팅막의 증착속도를 향상시키기 위하여 자장형성수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 본 발명의 오피씨드럼의 디엘씨코팅방법은, 화학기상증착설비에 오피씨드럼을 로딩하고, 설비 내부에 주가스와 보조가스를 공급하며, 설비 내부에 플라즈마를 발생시켜서 상기 오피씨드럼에 디엘씨코팅막을 코팅하고, 오피씨드럼을 설비 외부로 언로딩하는 단계들을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하기 때문에, 오피씨드럼의 수명을 획기적으로 증대시켜서 자원의 낭비를 방지하고, 유지비를 절감할 수 있게 하며, 디엘씨코팅막이 형성된 오피씨드럼의 잔류전위를 낮추고, 광투과도를 향상시켜서 양질의 복사를 가능하게 하며, 생산성을 증대시킬 수 있게 하는 효과를 갖는다.</p> |
