| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zur Messung von einer oder mehreren Eigenschaften einer Probe (10). Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, die Messzeit bei solchen Verfahren zu reduzieren Dabei werden einzelnen Parameter der Probe (10) gezielt verändert und ein oder mehrere modulierbare Messsignale (20, 20A, 20B) erzeugt, welche jeweils eine von einem oder mehreren Parametern der Probe (10) abhängige, zu ermittelnde Messgrösse enthalten. Die Messsignale (20, 20A, 20B) werden zur Erzeugung von Detektorsignalen (30) detektiert und die Messgrössen werden aus den so erzeugten Detektorsignalen (30) ermittelt. Die Messsignale (20, 20A, 20B) werden vor dem Detektieren einer Modulation mit bestimmten Modulationsparameter unterworfen. Die modulierten Messsignale (20, 20A, 20B) werden dann zeitlich integriert und Aussagen über die Messgrössen werden anhand der Detektorsignale (30) und der Modulationsparameter der Modulation der modulierten Messsignale (20, 20A, 20B) ermittelt.</p> |
