| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Zuführen eines in die Gasform gebrachten flüssigen Ausgangsstoffes in einen CVD-Reaktor, mit einer einen quer in einen Gasströmungskanal (3) mündenden Flüssigkeitsskanal (2) aufweisenden Düse (1), zur Bildung eines Aerosols, welches durch Wärmezufuhr verdampft. Um das gattungsgemäße Verfahren bzw. die gattungsgemäße Vorrichtung hinsichtlich der Dosierbarkeit zu verbessern, schlägt die Erfindung vor, dass die Verdampfungswärme ausschließlich dem Gas entzogen wird.</p> |
