用于制作大面积氧化层的设备

摘要

本实用新型是有关于一种可制作大面积氧化层的设备,其中更可适用于沉积组成均匀的光波导设备,包含有一燃烧器沉积装置与一限压抽气装置,其中燃烧器沉积装置于可加热基材的加热器上设有基材旋转机构,且加热器上方另设有一可使燃烧器上设有基材旋转机构,且加热器上方另设有一可使燃烧器与玻璃微粒抽气管同步移动的燃烧器抽气组,而设于一侧的限压抽气装置则透过水幕的设计,可使其排气的差压变动小于0.5mm—H₂O,藉此可维持沉积腔室的压力稳定,使得燃烧器喷出的气流与抽气间维持层流之关系而将玻璃微粒均匀定速的沉积于基材上,且避免未直接沉积于基板的玻璃微粒沉积于温度较低的区域形成不同浓度的掺杂而造成光波导组成不均匀,同时让废气中的玻璃微粒被稳定的抽离,达到可供制作组成均匀的大面积光波导的目的,进而降低大面积光波导的光损失与制作成本,并增加其产能。

主权项

1.一种用于制作大面积氧化层的设备，其包含有一燃烧器沉积装置及一设于一侧的限压抽气装置；其特征在于：一燃烧器沉积装置，该燃烧器沉积装置是于一密闭空间内设一加热器，且加热器设有一可将基材旋转的基材旋转机构，又加热器上设有一可与加热器接触的均热座，均热座上用以设置基材，且加热器上方设有一燃烧器抽气组，该燃烧器抽气组是由可同步动作的燃烧器管与抽气所组成；一限压抽气装置，该限压抽气装置则是设于一箱体侧壁利用一抽气主管连接燃烧器沉积装置的侧壁，且箱体顶面另设有一可将处理后废气排出的排气主管，又箱体底端与顶端间设有一输水用的输水管，输水管上段在箱体内部中央设有一可形成两层水幕的旋转机构；藉此，组构成一氧化层沉积均匀、且可用于制作大面积氧化层的设备。