轴密封装置

摘要

本发明涉及一个轴密封装置,它包括一个带有一个真空腔室的真空壳体;一个驱动轴,该驱动轴具有外圆柱表面并且可移动地伸入该真空壳体的该真空腔室内;一个密封圈,该密封圈为圆环状并且包括与驱动轴的外圆柱表面接触的密封唇口、一个环形弹性零件和一个从该密封唇口径向向外延伸的圆周部分,环形弹性零件施加一个力给密封唇口,以确保该密封唇口与驱动轴的外圆柱表面紧密地接触,其中驱动轴的外圆柱表面的表面粗糙度Ra小于0.1(μm)。

主权项

1.一种轴密封装置，它包括：一个带有一个真空腔室的真空壳体；一个驱动轴，所说驱动轴具有外圆柱表面并且可滑动地伸入所说真空壳体的所说真空腔室内；一个密封圈，所说密封圈为圆环状并且包括与所说驱动轴的所说外圆柱表面接触的密封唇口、一个环形弹簧零件和一个从所说密封唇口径向向外延伸的圆周部分，所说环形弹簧零件施加一个力给所说密封唇口，以确保所说密封唇口与所说驱动轴的所说外圆柱表面紧密地接触，其中所说驱动轴的所说外圆柱表面的表面粗糙度Ra小于0.1(μm)。