半导体测试系统的杂讯脉波侦测

摘要

一半导体测试系统具有杂讯脉波侦测功能，用以侦测来自受测试装置之输出讯号中的杂讯脉波，以准确地评估受测试装置，此半导体测试系统包括一事件记忆体，用以储存所欲讯号中之事件的时序资料，而所欲讯号即将被产生来测试一受测试半导体装置(DUT)；一事件产生器，用以根据来自事件记忆体之事件资料来产生测试图案、选通讯号及所想要的图案；一接脚电子装置，被设置在事件产生器与DUT之间，用来将来自事件产生器之测试图案传送至DUT，并接收DUT之输出讯号，及藉由来自事件产生器之选通讯号的时序来取样输出讯号；一图案比较器，用以比较来自接脚电子装置之所取样的输出讯号与所想要的图案；以及一杂讯脉波侦测单元，用以接收来自 DUT之输出讯号，而且藉由计算输出讯号中之边缘的数目，并与所想要之边缘的数目做比较，以侦测出输出讯号中的杂讯脉波。

主权项

1.一种用以测试半导体装置之半导体测试系统,其包括:一事件记忆体,用以储存关于所欲讯号中之事件的事件资料,而所欲讯号即将被产生来测试一受测试半导体装置(DUT);一事件产生器,用以根据来自事件记忆体之事件资料来产生所欲讯号,而所欲讯号为测试图案、选通讯号及所想要的图案;一接脚电子装置,被设置在事件产生器与DUT之间,用来将来自事件产生器之测试图案传送至DUT,并接收OUT之输出讯号,及藉由来自事件产生器之选通讯号的时序来取样输出讯号;一图案比较器,用以比较来自接脚电子装置之所取样的输出讯号与所想要的图案,并且当他们之间有不相符时,产生一失败讯号;以及一杂讯脉波侦测单元,用以接收来自DUT之输出讯号,而且藉由计算输出讯号中之边缘的数目,并与所想要之边缘的数目做比较,以侦测出输出讯号中的杂讯脉波。2.如申请专利范围第1项之半导体测试系统,其中杂讯脉波侦测单元包含一边缘计数单元,用以计算来自DUT之输出讯号中边缘的数目,当DUT被提供有测试图案时;以及一逻辑比较器,用以将由边缘计数单元所计算之边缘的数目与所想要之边缘的数目做比较。3.如申请专利范围第1项之半导体测试系统,其中杂讯脉波侦测单元包含一第一边缘计数单元,用以计算来自DUT之输出讯号中边缘的数目,当DUT被提供有测试图案时;一第二边缘计数单元,用以计算来自事件产生器之所想要的图案中之边缘的数目;以及一逻辑比较器,用以将由第一边缘计数单元所计算之边缘的数目与由第二边缘计数单元所计算之边缘的数目做比较。4.如申请专利范围第2项之半导体测试系统,其中边缘计数单元包括:一第一类比比较器,用以藉由与提供于该处之高临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第二类比比较器,用以藉由与提供于该处之低临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第一边缘计数器,用以计算来自第一类比比较器之上升边缘的数目;一第二边缘计数器,用以计算来自第二类比比较器之下降边缘的数目;以及一多工器,用以选择来自第一边缘计数器或来自第二边缘计数器之即将被提供至逻辑比较器的计数资料。5.如申请专利范围第3项之半导体测试系统,其中第一边缘计数单元及第二边缘计数单元的每一个边缘计数单元包括:一第一类比比较器,用以藉由与提供于该处之高临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第二类比比较器,用以藉由与提供于该处之低临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第一边缘计数器,用以计算来自第一类比比较器之上升边缘的数目;一第二边缘计数器,用以计算来自第二类比比较器之上升边缘的数目;以及一多工器,用以选择来自第一边缘计数器或来自第二边缘计数器之即将被提供至逻辑比较器的计数资料。6.一种用以测试半导体装置之半导体测试系统,其包括:一事件记忆体,用以储存关于所欲讯号中之事件的事件资料,而所欲讯号即将被产生来测试一受测试半导体装置(DUT);一事件产生器,用以根据来自事件记忆体之事件资料来产生所欲讯号,而所欲讯号为测试图案、选通讯号及所想要的图案;一接脚电子装置单元,被设置在事件产生器与DUT之间,用来将来自事件产生器之测试图案传送至DUT,并接收DUT之输出讯号,及藉由来自事件产生器之选通讯号的时序来取样输出讯号;一图案比较器,用以比较来自接脚电子装置单元之所取样的输出讯号与所想要的图案,并且当他们之间有不相符时,产生一失败讯号;其中当测试图案被提供至DUT时,多个选通讯号被提供至接脚电子装置单元,连同所指定之时间间隔小得足以侦测到输出讯号中的杂讯脉波。7.如申请专利范围第6项之半导体测试系统,其中选通讯号为一在来自DUT之输出讯号中所指定的时间长度,连续改变运通点的选通讯号。8.一种用以测试半导体装置之半导体测试系统,其包括:一图案产生器,用以产生测试图案及所想要的图案,用以测试受测试半导体装置;一时序产生器,用以决定测试图案、所想要的图案及选通讯号的时序;一波形格式器,用以产生即将被供应至DUT之测试图案的波形;一接脚电子装置单元,被设置在波形格式器与DUT之间,且将来自波形格式器之测试图案传送至DUT,并接收DUT之输出讯号,及藉由来自事件产生器之选通讯号的时序来取样输出讯号;一图案比较器,用以比较来自接脚电子装置单元之所取样的输出讯号与所想要的图案,并且当他们之间有不相符时,产生一失败讯号;以及一杂讯脉波侦测单元,用以接收来自DUT之输出讯号,而且藉由计算输出讯号中之边缘的数目,并与所想要之边缘的数目做比较,以侦测出输出讯号中的杂讯脉波。9.如申请专利范围第8项之半导体测试系统,其中杂讯脉波侦测单元包含一边缘计数单元,用以计算来自DUT之输出讯号中边缘的数目,当DUT被提供有测试图案时;以及一逻辑比较器,用以将由边缘计数单元所计算之边缘的数目与所想要之边缘的数目做比较。10.如申请专利范围第8项之半导体测试系统,其中杂讯脉波侦测单元包含一第一边缘计数单元,用以计算来自DUT之输出讯号中边缘的数目,当DUT被提供有测试图案时;一第二边缘计数单元,用以计算来自事件产生器之所想要的图案中之边缘的数目;以及一逻辑比较器,用以将由第一边缘计数单元所计算之边缘的数目与由第二边缘计数单元所计算之边缘的数目做比较。11.如申请专利范围第9项之半导体测试系统,其中边缘计数单元包括:一第一类比比较器,用以藉由与提供于该处之高临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第二类比比较器,用以藉由与提供于该处之低临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第一边缘计数器,用以计算来自第一类比比较器之上升边缘的数目;一第二边缘计数器,用以计算来自第二类比比较器之下降边缘的数目;以及一多工器,用以选择来自第一边缘计数器或来自第二边缘计数器之即将被提供至逻辑比较器的计数资料。12.如申请专利范围第10项之半导体测试系统,其中第一边缘计数单元及第二边缘计数单元的每一个边缘计数单元包括:一第一类比比较器,用以藉由与提供于该处之高临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第二类比比较器,用以藉由与提供于该处之低临界电压做比较,以侦测来自DUT之输出讯号中的改变;一第一边缘计数器,用以计算来自第一类比比较器之上升边缘的数目;一第二边缘计数器,用以计算来自第二类比比较器之上升边缘的数目;以及一多工器,用以选择来自第一边缘计数器或来自第二边缘计数器之即将被提供至逻辑比较器的计数资料。图式简单说明:图1A系显示一以事件为基础之测试系统的基本结构之示意图,而图1B系显示一以周期为基础之测试系统的基本结构之示意图,其中本发明能够被应用于此两种类型的测试系统。图2系显示有关图1A及图1B之接脚电子装置,及用以测试半导体装置之相关联的驱动事件(测试图案)及取样事件(选通讯号)之更加详细结构的方块图。图3A系显示一受测试半导体电路之电路图,而图3B-3D为显示图3A之受测试装置之输入及输出讯号波形的时序图。图4A-4C系显示图3A之受测试装置之输入及输出讯号波形的时序图,而图4D系一显示用以取样图4C所示之受测试装置之输出讯号的选通讯号之时序实例的时序图。图5A-5C系显示所想要之输出讯号、具有杂讯脉波于其中之受测试装置的真正输出讯号、及选通讯号之时序实例间之关系的时序图。图6A系显示一受测试半导体电路实例之电路图,且图6B及图6C为显示图6A之受测试装置之输入及输出讯号波形的时序图,而图6D系一显示选通讯号之时序的时序图。图7系显示即将被用使用于半导体测试系统中之本发明的杂讯脉波侦测单元之组态实例的方块图。图8系显示本发明之杂讯脉波侦测单元中之更加详细电路组态实例的方块图。图9系显示根据本发明图8之杂讯脉波侦测单元中之边缘计数器组态实例的电路图。图10A-10C系显示本发明中所想要之输出讯号、具有杂讯脉波于其中之受测试装置的真正输出讯号、及多重选通讯号之时序间之关系的时序图。图11A-11C系显示本发明中所想要之输出讯号、具有杂讯脉波于其中之受测试装置的真正输出讯号、及连续选通讯号之时序间之关系的时序图。