发明名称 METHOD FOR FORMING AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 SG88765(A1) 申请公布日期 2002.05.21
申请号 SG19990006018 申请日期 1999.11.30
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD 发明人 GAO FENG
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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