PROJECTION EXPOSURE METHOD,申请号SG20010003142-传众专利搜索

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发明名称	PROJECTION EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号	SG88824(A1)	申请公布日期	2002.05.21
申请号	SG20010003142	申请日期	1997.11.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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