| 发明名称 |
IMP TECHNOLOGY WITH HEAVY GAS SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG88795(A1) |
申请公布日期 |
2002.05.21 |
| 申请号 |
SG20000006288 |
申请日期 |
2000.11.01 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
DANIEL A. CARL;PEIJUN DING;BARRY CHIN;RONG TAO |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/04;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/42;C23C14/44;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/04;H01L21/320 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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