Herstellungssystem für Halbleiterbauteile sowie Elektronenstrahl-Belichtungsvorrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterbauteil-Herstellungssystem (400) zur Herstellung eines Halbleiterbauteils auf einer Scheibe (44), enthaltend eine erste Belichtungsvorrichtung (300), die eine Scheibe (44) unter Verwendung einer Lichtquelle belichtet, während sie die Scheibe (44) über einen festgelegten Abstand hinweg bewegt; und eine zweite Belichtungsvorrichtung (100) zur Belichtung der Scheibe (44) durch Ausstrahlen mehrerer Elektronenstrahlen auf die Scheibe (44), wobei die mehreren Elektronenstrahlen einen Abstand aufweisen, der im wesentlichen einem N-fachen oder einem 1/N-fachen des festgelegten Abstands entspricht, wobei N eine natürliche Zahl ist.