| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von irreversibel und justiert miteinander verbundenen Glas-Silizium-Glas Sandwichstrukturen, bestehend aus einem unteren und einem oberen Glassubstrat (2, 3), sowie einem dazwischenliegenden Siliziumsubstrat (1), wobei wenigstens eines der Substrate (1; 2; 3) mit einer 3-D-Tiefenstrukturierung versehen ist. Es soll nun ein preiswertes Herstellungsverfahren, besonders mit Blick auf die Massenproduktion von Glas-Silizium-Glas Sandwichstrukturen geschaffen werden. Erreicht wird dies dadurch, dass das Siliziumsubstrat (1) vor oder nach dessen 3-D-Tiefenstrukturierung mit einem der Glassubstrate (2; 3) durch anodisches Bonden irreversibel verbunden wird, der Verbund mittels Schleif-, Ätz- und Polierverfahren von der Glas- und/oder Siliziumseite auf eine vorgegebene Enddicke abgedünnt wird und dass nachfolgend die verbleibende Siliziumoberfläche mit einem zweiten Glassubstrat (3; 2) durch anodisches Bonden verbunden wird.</p> |
