| 摘要 |
Es wird ein Mikrostrukturbauelement, insbesondere ein verkapptes mirkomechanisches Sensorelement vorgeschlagen, wobei mindestens eine, insbesondere aus einer Siliziumschicht (14) herausstrukturierte Mikrostruktur (18) mit einem Glaskörper (51) verkappt ist. Weiter ist vorgesehen, dass zumindest der die Mikrostruktur (18) überdeckende Bereich des Glaskörpers (51) auf seiner der Mikrostruktur (18) zugewandten Seite mit einer elektrisch leitfähigen Beschichtung (50) versehen ist. |
