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发明名称 Herstellungsverfahren für eine einkristalline dünne Schicht
摘要
申请公布号 DE69616429(T2) 申请公布日期 2002.05.16
申请号 DE1996616429T 申请日期 1996.05.29
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 HABUKA, HITOSHI;MAYUSUMI, MASANORI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/306 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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