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发明名称 Magnetronzerstäubungsanlage
摘要
申请公布号 DE69620489(D1) 申请公布日期 2002.05.16
申请号 DE19966020489 申请日期 1996.01.22
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 SIECK, PETER A.;RIETZEL, JAMES G.;ALLEN, NORMAN E.
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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