发明名称 |
ANTIREFLEXIONS-UNTERBESCHICHTUNGEN DURCH BRECHUNGSINDEXMODIFIKATION MIT ANOMALER DISPERSION |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69706288(T2) |
申请公布日期 |
2002.05.16 |
申请号 |
DE19976006288T |
申请日期 |
1997.03.06 |
申请人 |
CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN |
发明人 |
DAMMEL, R.;NORWOOD, A. |
分类号 |
H01L21/027;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/09 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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