发明名称 SIMULATION METHOD EXECUTABLE WITH LESS TIME
摘要 <p>시뮬레이션 방법에서, 각각의 메시 영역에서 물리적 및/또는 화학적 현상을 정의하는 방정식에 대응하는 행렬이 설정된다. 행렬의 계수 행렬의 복수의 소행렬 각각에 대한 전처리를 실행하여, 각각의 방정식이 다른 메시 영역에 미치는 영향에 기초하여 전처리가 결정된다. 다음, 행렬의 연산을 수행하여 해를 결정한다. 각각의 방정식은 확산 및/또는 반응 방정식이고, 복수의 소행렬 각각은 행과 열 방향에서 방정식의 수에 대한 요소를 갖는 정방 행렬을 갖는다. 또한, 실행 단계는, 다른 메시 영역에 영향을 미치는 항을 갖는 방정식의 계수를 상기 소행렬의 좌측 상부에 재배치하고, 다른 메시 영역에 영향을 미치지 않는 항만을 갖는 방정식의 계수를 소행렬의 우측 하부에 재배치하는 단계를 포함한다.</p>
申请公布号 KR100336954(B1) 申请公布日期 2002.05.15
申请号 KR19990048088 申请日期 1999.11.02
申请人 null, null 发明人 구마시로시게따까;와시오다꾸미
分类号 H01L21/22;G06F17/50;G06F19/00;H01L21/00;H01L21/66 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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