| 发明名称 |
Method and arrangement relating to providing a substrate with cavities |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU1444702(A) |
申请公布日期 |
2002.05.15 |
| 申请号 |
AU20020014447 |
申请日期 |
2001.11.06 |
| 申请人 |
IMEGO AB |
发明人 |
LEIF BERGSTEDT;GERT ANDERSSON;KATRIN PERSSON |
| 分类号 |
B81B7/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/48;H01L23/13;H01L23/15;H05K1/03;H05K3/00 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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