| 发明名称 |
Sensors for measuring temperature and methods of measuring workpiece temperatures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0723141(B1) |
申请公布日期 |
2002.05.15 |
| 申请号 |
EP19950309495 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
HOSOKAWA, AKIHIRO;KOWAKA, MASAHIKO |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/02;G01J5/06;H01L21/02;(IPC1-7):G01J5/06 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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