| 发明名称 | 传输晶片和环圈的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种方法和一种装置,利用该方法和装置,使晶片在漂浮晶片反应器中被一个环圈所包围。该环圈特别是在进入和取出时用于限制晶片上的温度变化。另外,这种环圈能在处理过程中用来将晶片定位在水平面。晶片在处理过程中不与环圈接触。该环圈可选择地设有加热装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1349656A | 申请公布日期 | 2002.05.15 |
| 申请号 | CN00807203.5 | 申请日期 | 2000.05.08 |
| 申请人 | 阿斯莫国际公司 | 发明人 | 弗拉迪米尔·伊万诺维奇·库兹涅佐夫;特奥多鲁斯·杰拉尔达斯·玛利亚·奥斯特里肯;克里斯蒂安纳斯·杰拉尔达斯·玛利亚·里德;恩斯特·亨德克·奥古斯特·格兰内曼 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘兴鹏 |
| 主权项 | 1.一种将晶片(6)传输进以及传输出一个热处理室的方法，用于一次处理一个晶片，该热处理室与一个热处理装置(10)相联合，该热处理装置包括一个装载室，该装载室所具有的温度不同与上述热处理室，在装载室内设置有进入或输出该装载室的装载器和传输器，其特征在于，在装载室内，一组晶片(6)中的一个晶片和一个环圈(1)被装载器结合在一起以便形成晶片/环圈组合或者从该组合分离出，单个晶片/环圈组合被传输器单独地引入热处理室或从该热处理室中取出。 | ||
| 地址 | 荷兰比尔索文 | ||