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发明名称 SYSTEM FOR ALIGNING RECTANGULAR WAFERS
摘要
申请公布号 EP1204875(A1) 申请公布日期 2002.05.15
申请号 EP20000957979 申请日期 2000.06.15
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 REN, JIE
分类号 G01R31/01;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/265 主分类号 G01R31/01
代理机构 代理人
主权项
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