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发明名称 INTEGRATED PAD AND BELT FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 EP0966338(B1) 申请公布日期 2002.05.15
申请号 EP19980906348 申请日期 1998.02.11
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 PANT, ANIL, K.;JAIRATH, RAHUL;MISHRA, KAMAL;CHADDA, SAKET;KRUSELL, WILBUR, C.
分类号 B24B21/04;B24B37/04;B24D11/00;B24D11/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B21/04
代理机构 代理人
主权项
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