| 主权项 |
1、一种释放显影抑制基青成色剂，其化合物结构通式为：<img file="A0012309300021.GIF" wi="693" he="255" />R为防扩散基团；Timing为定时基；n＝0、1；PUG为显影抑制基团；其特征在于：所述的显影抑制基PUG为含硫醚或氧醚类基团的巯基噁二唑类和噻二唑类化合物，结构通式为：<img file="A0012309300022.GIF" wi="473" he="89" />X为O、S；Y为O、S；R<sup>1</sup>为C<sub>1-6</sub>的烷基，芳基，通式为<img file="A0012309300023.GIF" wi="135" he="88" />的取代的芳基，烷氧基-OR<sup>3</sup>或者烷巯基-SR<sup>4</sup>；其中取代基G为H、C<sub>1-4</sub>的烷基、卤素Cl、F、Br，R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>为C<sub>1-4</sub>的烷基；或者结构通式为：<img file="A0012309300024.GIF" wi="616" he="102" />R<sup>5</sup>为取代的芳基<img file="A0012309300025.GIF" wi="152" he="85" />，烷氧基-OR<sup>7</sup>或者烷巯基-SR<sup>8</sup>；其中R<sup>6</sup>为卤素Cl、F、Br，R<sup>7</sup>、R<sup>8</sup>为C<sub>1-4</sub>的烷基。 |
